[发明专利]清洁引线框以改善导线接合工艺有效
申请号: | 201280030395.9 | 申请日: | 2012-04-25 |
公开(公告)号: | CN103620753B | 公开(公告)日: | 2017-05-24 |
发明(设计)人: | T·Q·科利尔;D·B·瑞内;R·拉玛默希;G·E·帕里斯 | 申请(专利权)人: | 气体产品与化学公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人: | 吴亦华 |
地址: | 美国宾夕*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 处理半导体衬底以从其除去不想要的物质或为后续接合准备所述半导体衬底的表面的方法,其中所述衬底包含引线框,所述引线框包含管芯、接合焊盘、触头、和导线,所述方法包括将所述衬底与可用于所述方法的液体清洁组合物相接触的步骤。 | ||
搜索关键词: | 清洁 引线 改善 导线 接合 工艺 | ||
【主权项】:
处理引线框组件以从其除去不想要的物质或为后续接合准备所述引线框组件的表面的方法,其中引线框组件包含以下部件中的一种或多种:引线框、管芯、其上具有接合焊盘的管芯、触头、触头引线、和导线,所述方法包括以下步骤:将其上具有接合焊盘的一个或多个管芯与引线框相连以形成引线框组件,所述引线框包括具有暴露的金属表面的触头引线;将所述接合焊盘和所述触头引线与包含水、和至少一种羧酸或多元酸或至少一种羧酸或多元酸的盐、或至少一种羧酸或多元酸和至少一种羧酸或多元酸的盐的混合物的组合物相接触,以清洁所述接合焊盘和所述触头引线;干燥所述引线框组件;以及进行导线接合步骤,所述导线接合步骤包括在所述一个或多个管芯上的接合焊盘与所述引线框上的触头引线之间连接导线。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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