[发明专利]有机EL器件的制造方法及制造装置

摘要

本发明提供一种有机EL器件的制造方法及制造装置，其能够制造抑制了品质下降的有机EL器件。有机EL器件的制造方法为一边使带状的基材沿其长度方向移动一边利用蒸镀在该基材上形成有机EL元件的结构层的有机EL器件的制造方法，该制造方法包括结构层形成工序，在该结构层形成工序中，一边使上述基材沿其长度方向移动，一边在沿着该基材的移动方向设置的第1蒸镀部及第2蒸镀部自蒸镀源向上述基材的一个面喷出气化材料而依次进行蒸镀，该结构层形成工序包括多个朝上蒸镀工序，以及方向变换工序。

主权项

一种有机EL器件的制造方法，其特征在于，该制造方法为一边使带状的基材沿其长度方向移动一边利用蒸镀在该基材上形成有机EL元件的结构层的有机EL器件的制造方法，该制造方法包括结构层形成工序，在该结构层形成工序中，一边使上述基材沿上述长度方向移动，一边在沿着该基材的移动方向配置的至少第1蒸镀部及第2蒸镀部自蒸镀源向上述基材的一个面喷出气化材料而依次进行蒸镀，上述结构层形成工序包括：朝上蒸镀工序，在该朝上蒸镀工序中，在上述第1蒸镀部及第2蒸镀部，一边使上述基材以其蒸镀面朝下的状态移动，一边自配置于该基材的下方的上述蒸镀源向上述蒸镀面喷出上述气化材料而进行蒸镀；方向变换工序，在该方向变换工序中，利用设于上述第1蒸镀部和上述第2蒸镀部之间的引导机构，一边对自上述第1蒸镀部输送过来的上述基材以该基材的非蒸镀面为内周面的方式自该非蒸镀面侧进行支承，一边使该基材翻转以使得上述蒸镀面先翻转朝上之后翻转朝下，并将该基材引导至上述第2蒸镀部。