[发明专利]有机EL器件的制造方法及制造装置

说明书

本申请主张日本特愿2011-229872号、日本特愿2011-245844号、日本特愿2012-020884号、日本特愿2012-113290号的优先权，这些申请通过引用而编入本申请说明书的记载。

技术领域

本发明涉及一种有机EL器件的制造方法及制造装置。

背景技术

近年来，作为用于新时代的低耗电的发光显示装置的器件，有机EL（电致发光）器件受到关注。有机EL器件基本由有机EL元件构成，该有机EL元件具有基材、设于该基材之上的有机EL层、一对电极层。有机EL层包括至少1层由有机发光材料构成的发光层。该有机EL器件由于有机发光材料而能够获得多彩的颜色的发光。另外，由于有机EL器件为自发光器件，因此用作电视（TV）等的显示屏的用途受到关注。

更具体而言，通过将作为有机EL元件的结构层的阳极层、有机EL层及阴极层依次层叠于基材上，从而形成有机EL器件。

在这样的有机EL器件的制造方法中，作为在基材上形成（成膜）有机EL元件的结构层（以下，有时仅称为结构层）的方法，一般公知有真空蒸镀法、涂敷法。在这些方法中，尤其是真空蒸镀法能够提高结构层形成材料的纯度，而容易得到高寿命，因此主要使用真空蒸镀法。

在上述真空蒸镀法中，使用被设在真空腔内的与基材相对的位置的蒸镀源来进行蒸镀，从而形成结构层。具体而言，借助配置于各蒸镀源的加热部来加热结构层形成材料并使其气化。气化的结构层形成材料（气化材料）自蒸镀源被喷出。通过在基材上将气化材料蒸镀为结构层，从而形成该结构层。

对于该真空蒸镀法，从低成本化等的观点而言，采用卷工艺（日文：ロールプロセス）。所谓卷工艺是指以下工艺：将卷取成卷状的带状的基材连续地放出，一边使被放出的基材移动，一边在基材上连续地蒸镀结构层，将蒸镀有该结构层的基材卷取为卷状。（参照专利文献1）。

专利文献1：日本特开2008-287996号公报。

但是，在上述卷工艺中，当将蒸镀源配置于比基材靠上方的位置，而自该蒸镀源朝向下方的基材喷出气化材料而形成结构层时，有灰尘等异物自蒸镀源掉下而附着于基材并混入于有机EL元件中的情况。当异物混入该有机EL元件时，会对该有机EL元件的发光带来不好的影响。

因此，为了抑制该异物的混入，考虑将蒸镀源配置于比基材靠下方的位置，而自该蒸镀源朝向上方的基材喷出上述气化材料而形成结构层。

但是，如以上所述，有机EL器件通过将多个结构层层叠而形成，因此当要自下方进行蒸镀而依次形成所有的结构层时，有必要将蒸镀源依次排列于基材的下方，并以基材通过所有蒸镀源的上方的方式使该基材移动。

这种情况下，基材的通过蒸镀源的区域变得非常长，因此难以对基材施加充分的张力，基材变得容易弯曲、或振动。于是，当基材的弯曲、振动导致基材的蒸镀面与蒸镀源接触时，有可能损伤基材、已形成在基材上的结构层。另外，当基材与蒸镀源的距离变化时，难以适当地控制结构层的厚度，有可能无法获得具有所期望发光特性的结构层。

另一方面，当为了防止基材的弯曲、振动而利用辊构件等自下方支承基材时，有可能辊构件与基材的蒸镀面接触而损伤已形成了的结构层。

这样，当产生由异物的混入、厚度的控制困难导致的发光不良或者由基材与蒸镀源、辊构件等接触导致的基材的蒸镀面的损伤时，有机EL器件的品质下降。

发明内容

有鉴于上述问题点，本发明目的是提供能制造抑制了品质下降的有机EL器件的有机EL器件的制造方法及制造装置

本发明的有机EL器件的制造方法的特征在于，该制造方法为一边使带状的基材沿其长度方向移动一边利用蒸镀在该基材形成有机EL元件的结构层的有机EL器件的制造方法，该制造方法包括结构层形成工序，在该结构层形成工序中，一边使上述基材沿上述长度方向移动，一边在沿着该基材的移动方向配置的至少第1蒸镀部及第2蒸镀部自蒸镀源向上述基材的一个面喷出气化材料而依次进行蒸镀，上述结构层形成工序包括：朝上蒸镀工序，在该朝上蒸镀工序中，在上述第1蒸镀部及第2蒸镀部，一边使上述基材以其蒸镀面朝下的状态移动，一边自在该基材的下方配置的上述蒸镀源向上述蒸镀面喷出上述气化材料而进行蒸镀；方向变换工序，在该方向变换工序中，利用设于上述第1蒸镀部和上述第2蒸镀部之间的引导机构，一边对自上述第1蒸镀部输送过来的上述基材以该基材的非蒸镀面为内周面的方式从该非蒸镀面侧进行支承，一边使该基材翻转以使得上述蒸镀面先翻转朝上之后翻转朝下，并将该基材引导至上述第2蒸镀部。