[发明专利]底层组合物及其方法有效
| 申请号： | 201280026263.9 | 申请日： | 2012-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN103582665A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 姚晖蓉;林观阳;Z·博格斯;卢炳宏;金羽圭;M·O·奈瑟 | 申请（专利权）人： | AZ电子材料美国公司 |
| 主分类号： | C08K5/00 | 分类号： | C08K5/00;G03F7/00;H01L51/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 孙悦 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及包括聚合物、有机钛酸酯化合物和任选的热酸发生剂的底层组合物，其中该聚合物包括至少一个氟代醇基和至少一个环氧基。本发明还涉及使用该底层材料作为抗反射涂料组合物和/或图案转移用硬掩模的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 底层 组合 及其 方法 | ||
【主权项】：
底层组合物，包含有机钛酸酯化合物和聚合物，其中该聚合物包含至少一个氟代醇基和至少一个环氧基。
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