[发明专利]底层组合物及其方法有效
| 申请号: | 201280026263.9 | 申请日: | 2012-06-18 |
| 公开(公告)号: | CN103582665A | 公开(公告)日: | 2014-02-12 |
| 发明(设计)人: | 姚晖蓉;林观阳;Z·博格斯;卢炳宏;金羽圭;M·O·奈瑟 | 申请(专利权)人: | AZ电子材料美国公司 |
| 主分类号: | C08K5/00 | 分类号: | C08K5/00;G03F7/00;H01L51/00 |
| 代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 孙悦 |
| 地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 底层 组合 及其 方法 | ||
1.底层组合物,包含有机钛酸酯化合物和聚合物,其中该聚合物包含至少一个氟代醇基和至少一个环氧基。
2.权利要求1的底层组合物,其中该聚合物包含至少一个具有氟代醇基(1)的单元和至少一个具有环氧基(2)的单元:
其中R1-R6独立地选自氢和C1-C4烷基,W是连接基团,Rf1和Rf2独立地选自氟化(C1-C6)烷基或部分氟化(C1-C6)烷基;W1选自亚芳基、羰基(-(C=O))和羰氧基亚烷基连接基团(-C(=O)-O-W4-),其中W4选自由C1-C6亚烷基部分、氟代(C1-C6)亚烷基和部分氟化(C1-C6)亚烷基构成的组;W2是(C1-C6)亚烷基部分。
3.权利要求1或2的底层组合物,其中在该聚合物中,氟代醇基在10-80摩尔%的范围,环氧基在20-90摩尔%的范围。
4.权利要求1-3之一的底层组合物,其中该聚合物进一步包含结构3的单元:
其中R7-R9独立地选自氢和C1-C4烷基;W5选自直接价键、亚芳基、酯(C(=O)-O-R14)基、C1-C20亚烷基及其混合物,R14选自C1-C20亚烷基、C1-C20亚烷基亚芳基、亚芳基和取代亚芳基,重复单元(3)优选在1-40摩尔%的范围。
5.权利要求1-4之一的底层组合物,其中该聚合物进一步包含重复单元(4):
其中R10-R12独立地选自氢、腈和C1-C4烷基,R13是芳基或酯(-C(=O)-O-R15)基,其中R15选自由C1-C20烷基、C1-C20亚烷基芳基、芳基、取代芳基、氟代烷基、部分氟化烷基或其混合物构成的组,重复单元(4)优选在1-30摩尔%的范围。
6.权利要求1-5之一的底层组合物,其中该有机钛酸酯化合物选自由以下构成的组:
其中R15、R’15、R”15和R”’15独立地选自C1-C20烷基和C1-C20烷基羰基,R16和R17独立地选自C1-C20烷基和芳基,单体钛酸酯(5)、(6)和(7)在该组合物中的含量优选在总固体的10-50wt%的范围。
7.权利要求1-5之一的底层组合物,其中该有机钛酸酯选自:
其中n=2-10,R15、R’15、R”15和R”’15独立地选自C1-C20烷基和C1-C20烷基羰基,R16和R17独立地选自C1-C20烷基和芳基,聚合物钛酸酯化合物(8)、(9)和(10)在该底层中的含量优选在总固体的10-99.9wt%的范围。
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