[发明专利]具有其上包括离散突起的均质主体的抛光垫

摘要

描述了具有其上包括离散突起的均质主体的抛光垫。在一示例中，一种用于抛光衬底的抛光垫包括具有抛光面和背面的均质主体。均质主体由具有第一硬度的材料组成。在均质主体的抛光面设置有多个离散突起且所述离散突起与该抛光面共价结合。多个离散突起由具有与第一硬度不同的第二硬度的材料组成。还描述了制作具有其上包括离散突起的均质主体的抛光垫的方法。

主权项

一种用于抛光衬底的抛光垫，所述抛光垫包括：具有抛光面和背面的均质主体，所述均质主体包括具有第一硬度的材料，所述抛光面包括具有图案的多个突起；设置在所述均质主体的抛光面的多个突起上并与所述多个突起对齐的多个离散突起，所述多个离散突起包括具有与所述第一硬度不同的第二硬度的材料，并且所述多个离散突起具有所述图案；以及围绕所述均质主体的抛光面的多个突起设置在所述均质主体上的填充层，所述填充层包括所述多个离散突起的材料。