[发明专利]具有其上包括离散突起的均质主体的抛光垫

权利要求书

1.一种用于抛光衬底的抛光垫，所述抛光垫包括：

具有抛光面和背面的均质主体，所述均质主体包括具有第一硬度的材料，所述抛光面包括具有图案的多个突起；

设置在所述均质主体的抛光面的多个突起上并与所述多个突起对齐的多个离散突起，所述多个离散突起包括具有与所述第一硬度不同的第二硬度的材料，并且所述多个离散突起具有所述图案；以及

围绕所述均质主体的抛光面的多个突起设置在所述均质主体上的填充层，所述填充层包括所述多个离散突起的材料。

2.根据权利要求1所述的抛光垫，其中，所述填充层与所述多个离散突起不连续。

3.根据权利要求1所述的抛光垫，其中，所述填充层和所述多个离散突起两者都与所述均质主体共价结合。

4.根据权利要求1所述的抛光垫，其中，所述均质主体是模制的均质主体，所述多个离散突起是多个模制的突起，所述填充层是模制的填充层。

5.根据权利要求1所述的抛光垫，其中，所述均质主体的材料包括第一热固性聚氨酯材料，所述多个离散突起和所述填充层的材料包括第二热固性聚氨酯材料，所述第一热固性聚氨酯材料与所述第二热固性聚氨酯材料不同。

6.根据权利要求1所述的抛光垫，其中，所述均质主体的材料的所述第一硬度小于所述多个离散突起和所述填充层的材料的所述第二硬度。

7.根据权利要求6所述的抛光垫，其中，所述第一硬度小于40肖氏硬度，所述第二硬度大于30肖氏硬度。

8.根据权利要求7所述的抛光垫，其中，所述第一硬度小于25肖氏硬度，所述第二硬度大于40肖氏硬度。

9.根据权利要求1所述的抛光垫，其中，所述均质主体的材料的所述第一硬度大于所述多个离散突起和所述填充层的材料的所述第二硬度。

10.根据权利要求9所述的抛光垫，其中，所述第二硬度小于40肖氏硬度，所述第一硬度大于30肖氏硬度。

11.根据权利要求10所述的抛光垫，其中，所述第二硬度小于25肖氏硬度，所述第一硬度大于40肖氏硬度。

12.根据权利要求1所述的抛光垫，其中，所述均质主体基本上呈圆形，所述多个离散突起中的一个或多个是部分周向突起或弧形突起。

13.根据权利要求1所述的抛光垫，其中，所述多个离散突起包括多个拼块，所述拼块选自包括圆形拼块、椭圆形拼块、方形拼块、六边形拼块和矩形拼块的组。

14.根据权利要求1所述的抛光垫，其中，在所述均质主体的抛光面的总体平面中，所述多个离散突起中的每一个具有大致在5-50毫米的范围内的最短尺寸。

15.根据权利要求1所述的抛光垫，还包括：

设置在所述均质主体的背面中的检测区域。

16.根据权利要求1所述的抛光垫，还包括：

设置在所述均质主体中的局部透明(LAT)区域。

17.一种制作用于抛光衬底的抛光垫的方法，所述方法包括：

使第一组可聚合材料在成型模的基部中混合以形成第一混合物；

使所述第一混合物至少部分地固化以形成具有抛光面和背面的模制均质主体；

使第二组可聚合材料混合以在所述模制均质主体上形成第二混合物；

将所述成型模的盖置于所述第二混合物中，所述盖上设置有槽图案；以及，在所述盖置于所述第二混合物中的情况下，

使所述第二混合物至少部分地固化以形成设置在所述模制均质主体的所述抛光面上的多个离散突起，所述多个离散突起具有与所述盖的槽图案对应的图案，其中，所述多个离散突起与所述模制均质主体的抛光面至少部分地共固化，

其中，在使所述第一组可聚合材料混合以形成所述第一混合物之后但在使所述第二组可聚合材料混合以形成所述第二混合物之前，将所述成型模的盖置于所述第一混合物中，以及，在所述盖置于所述第一混合物中的情况下，执行使所述第一混合物至少部分地固化以形成具有抛光面的模制均质主体，其中所述抛光面包括多个突起，所述多个突起具有与所述盖的槽图案对应的图案，其中所述多个离散突起形成在所述模制均质主体的抛光面的多个突起上并与之对齐。