[发明专利]观察研磨单元内部的质量变化的方法有效
| 申请号： | 201280023585.8 | 申请日： | 2012-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN103534033A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | E.加勒斯特阿瓦雷兹;K.斯塔德勒 | 申请（专利权）人： | ABB研究有限公司 |
| 主分类号： | B02C25/00 | 分类号： | B02C25/00;G05B13/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周李军;权陆军 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本发明的目的是观察研磨单元内部的质量变化，所述研磨单元作为具有储存单元的研磨过程的一部分。质量变化得自研磨单元的质量衡算和储存单元的质量衡算。 | ||
| 搜索关键词： | 观察 研磨 单元 内部 质量 变化 方法 | ||
【主权项】：
观察作为研磨过程的一部分的研磨单元内部的质量变化的方法，所述研磨过程具有将待研磨的输入材料进料到所述研磨单元的过程输入路径、用于储存来自所述研磨单元的经研磨材料的储存单元和用于从所述储存单元除去经研磨材料的过程输出路径，所述方法包含以下步骤：a) 测定所述过程输入路径的质量流量(m1)和所述过程输出路径的质量流量(m5)；b) 测定所述储存单元内部的经研磨材料的质量变化；和c) 从所述储存单元内部测定的质量变化和测定的质量流量，并且基于预先建立的所述研磨单元的质量衡算和预先建立的所述储存单元的质量衡算，导出所述研磨单元内部的质量变化。
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