[发明专利]形成具有改变的应力特性的膜的方法有效
| 申请号： | 201280023162.6 | 申请日： | 2012-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN103534195A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | A·B·格雷厄姆;G·亚马;G·奥布莱恩 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;G01L9/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 周家新 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种改变膜的应力特性的方法在一个实施例中包括：提供膜层；确定期望应力改变；和基于所确定的期望应力改变在膜层中形成至少一个槽。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 具有 改变 应力 特性 方法 | ||
【主权项】：
一种改变膜的应力特性的方法，包括：提供膜层；确定期望应力改变；和基于所确定的期望应力改变在膜层中形成至少一个槽。
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