[发明专利]用于生产多晶层的方法无效
| 申请号： | 201280019083.8 | 申请日： | 2012-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN103492607A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 马丁·斯图兹曼;托拜厄斯·安特斯伯格 | 申请（专利权）人： | 第三专利投资有限两合公司 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 牟静芳;郑霞 |
| 地址： | 德国舍*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种方法，该方法用于生产一种多晶层。该方法包括以下步骤，这些步骤是：向一个衬底施加一种层序列，该层序列包括至少一个具有杂质的无定形起始层，一个金属活化剂层，和一个基于钛或氧化钛、被安排在该起始层与该活化剂层之间用于从该起始层回收这些杂质的清洁层；并且在施加该层序列后进行热处理来形成一种多晶最终层。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 生产 多晶 方法 | ||
【主权项】：
一种用于生产一种多晶层的方法，该方法包括以下步骤：‑将一种层序列施加到一个衬底上，该层序列包括至少‑一个具有杂质的无定形起始层，‑一个金属活化剂层以及‑一个基于钛或氧化钛、被安排在该起始层与该活化剂层之间并且用于从该起始层回收这些杂质的清洁层，；并且‑为了形成一个多晶最终层的目的，在施加该层序列后进行热处理。
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