[发明专利]玻璃基板的制造方法及其装置有效
| 申请号： | 201280017721.2 | 申请日： | 2012-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN103459342A | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 西山荣 | 申请（专利权）人： | 株式会社NSC |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;C03C15/02;C03C23/00 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 杨勇;郑建晖 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的课题在于，提供一种能够安全地实现高品质的化学研磨处理的玻璃基板的化学研磨装置。其解决手段为，本发明的化学研磨装置具有：输送通路，其沿水平方向输送玻璃基板（GL）；研磨处理部（16）、（22），其对在输送通路移动中的玻璃基板喷射化学研磨液而对玻璃基板进行薄型化；洗涤处理部（24），其对经过研磨处理部（22）而被薄型化了的玻璃基板喷射洗涤液进行洗涤，其中，在向研磨处理部（16）导入玻璃基板的导入部设置有：旋转滚轮（43），其轻轻地保持玻璃基板的表面并进行旋转；喷射部（NZ1）、（NZ2），其从研磨处理部（16）的外侧向旋转滚轮（43）喷射水。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 制造 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
一种玻璃基板的化学研磨装置，其特征在于，具有：输送通路，其沿水平方向输送玻璃基板；研磨处理部，其对在输送通路移动中的玻璃基板喷射化学研磨液而对玻璃基板进行薄型化；洗涤处理部，其对经过研磨处理部而被薄型化了的玻璃基板喷射洗涤液进行洗涤，其中，在向所述研磨处理部导入玻璃基板的导入部设置有：旋转滚轮，其轻轻地保持玻璃基板的表面并进行旋转；喷射部，其从研磨处理部的外侧向所述旋转滚轮喷射水。
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