[发明专利]带电粒子束装置及利用带电粒子束装置进行观察的方法

摘要

提供一种带电粒子束装置乃至带电粒子显微镜，其不很大地改变现有的高真空带电粒子显微镜的结构，就能够在大气气氛或气体气氛下观察观察试样。在采用划分真空气氛和大气气氛（或气体气氛）的薄膜（10）的结构的带电粒子束装置中，能够保持上述薄膜（10），并且将能够将内部维持为大气气氛或气体气氛的配件（121）插入到高真空型带电粒子显微镜的真空室（7）中来使用。该配件（121）被真空密封地固定在上述真空试样室的真空隔壁上。通过用氦气、氢气或水蒸汽这样的质量比大气气体轻的轻元素气体置换配件内部，来进一步提高画质。

主权项

一种带电粒子束装置，具备：带电粒子光学镜筒，其在试样上扫描初级带电粒子束；检测器，其检测通过上述扫描得到的反射电子或次级电子；真空泵，其特征在于，具备：第一机壳，其相对于装置设置面支持上述带电粒子束装置，内部通过上述真空泵被真空排气；第二机壳，其位置被固定在该第一机壳的侧面或内壁面，将上述试样存储在内部；薄膜，其设置在该第二机壳的上表面侧，使上述初级带电粒子束透过或通过，能够将上述第二机壳内部的压力维持为比上述第一机壳内部的压力高的状态，上述第二机壳具有开放面，其能够维持上述第一机壳内部的真空状态地更换在该第二机壳的内部存储的上述试样。