[发明专利]带电粒子束装置及利用带电粒子束装置进行观察的方法

权利要求书

1.一种带电粒子束装置，具备：带电粒子光学镜筒，其在试样上扫描初级带电粒子束；检测器，其检测通过上述扫描得到的反射电子或次级电子；真空泵，其特征在于，具备：

第一机壳，其相对于装置设置面支持上述带电粒子束装置整体，内部通过上述真空泵被真空排气；

第二机壳，其位置被固定在该第一机壳的侧面或内壁面或上述带电粒子光学镜筒上，将上述试样存储在内部；

薄膜，其设置在该第二机壳的上表面侧，使上述初级带电粒子束透过或通过，

能够将上述第二机壳内部的压力维持为比上述第一机壳内部的压力高的状态。

2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，具备：

气体导入部，其导入用于置换上述第二机壳内部的气氛的置换气体。

3.根据权利要求2所述的带电粒子束装置，其特征在于，

具备：压力调整阀，其用于调整上述第二机壳内部的压力，

在上述第二机壳内部的压力变得比规定值高的情况下，上述压力调整阀打开，由此使上述第二机壳内部减压。

4.根据权利要求3所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述第二机壳的形状是一个侧面开放的长方体形状，

具备：盖构件，其用于固定上述气体导入部或上述压力调整阀，并覆盖该长方体的开放面。

5.根据权利要求2所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述置换气体是包含氦气的轻元素气体。

6.根据权利要求4所述的带电粒子束装置，其特征在于，

将上述气体导入部在上述板构件上的安装位置配置在上述压力调整阀在上述板构件上的安装位置的下方。

7.根据权利要求6所述的带电粒子束装置，其特征在于，

设置开口部来取代上述压力调整阀。

8.根据权利要求4所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述第二机壳或上述板构件具备与用于调整上述第二机壳的内部压力的真空泵连接的粗排气端口。

9.根据权利要求4所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述板构件可装卸地固定在上述第二机壳的侧面。

10.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述薄膜经由保持该薄膜的薄膜保持构件可装卸地固定在上述第二机壳上，

通过从上述第二机壳上取下上述薄膜保持构件，能够对上述第一机壳和第二机壳内部进行真空排气。

11.根据权利要求10所述的带电粒子束装置，其特征在于，

保持上述薄膜的薄膜保持构件被固定在上述第二机壳内部的顶面上。

12.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

具备：工作台，其被固定在上述第二机壳的底面上，将上述试样在面内方向或高度方向上移动。

13.根据权利要求4所述的带电粒子束装置，其特征在于，

具备：工作台，其被固定在上述板构件上，能够将上述试样在面内方向或高度方向上移动。

14.根据权利要求10所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述薄膜保持部具备限制构件，该限制构件限制试样和薄膜之间的距离以使上述试样不过于接近上述薄膜。

15.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

具备观察装置，其能够观察上述薄膜和上述试样的间隔。

16.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

将用于检测通过上述带电粒子束对上述试样的扫描而释放的离子、电子、光子、X射线中的任意一个以上的检测器、或检测通过上述带电粒子束的照射而得到的透过电子的检测器配置在上述第一机壳内或第二机壳内。

17.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

具备：试样台，其配置在上述第二机壳内，能够检测由于上述带电粒子束对上述试样的扫描而流入到上述试样的电子或电流。