[发明专利]扫描离子束的改善均匀性有效
| 申请号： | 201280017078.3 | 申请日： | 2012-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN103477416B | 公开（公告）日： | 2016-03-16 |
| 发明（设计）人： | 爱德华·艾伊斯勒;安迪·雷;伯·范德伯格 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯科技公司 |
| 主分类号： | H01J37/302 | 分类号： | H01J37/302;H01J37/317 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 倪斌 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一个实施例涉及离子注入器。该离子注入器包括：离子源，用于产生离子束，以及扫描仪，用于使离子束沿着第一轴在工件的表面上进行扫描。该离子注入器还包括：偏转滤波器，位于扫描仪的下游，用于使离子束沿着第二轴在工件的表面上抖动地扫描。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 离子束 改善 均匀 | ||
【主权项】：
一种离子注入器，包括：离子源，用于产生离子束；扫描仪，用于使所述离子束沿着第一轴在工件的表面上来回扫描，从而提供扫描离子束；偏转滤波器，所述偏转滤波器在所述扫描仪的下游，用于沿着第二轴将抖动引入所述扫描离子束，其中所述第二轴与所述第一轴交叉；以及平行化器，所述平行化器位于所述扫描仪与所述偏转滤波器之间，其中，所述平行化器随着时间接收多个不同碰撞角的所述扫描离子束，并且改变所述扫描离子束的所述不同碰撞角以随着时间输出平行化的离子束。
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