[发明专利]使用双重背侧绝对压力传感的差动压力传感器有效
| 申请号： | 201280006410.6 | 申请日： | 2012-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN103314283A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | J-H.A.乔 | 申请（专利权）人： | 大陆汽车系统公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L13/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 臧永杰;卢江 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | MEMS差动压力传感元件（200）由被附到硅或玻璃间隔物（202）相对侧上的两个单独的硅裸片（210,224）提供，该间隔物（202）的侧被凹进并且其中形成的凹槽至少部分被做空。如果使用硅间隔物，所述裸片使用部分由硅氧化物层（219,220）提供的硅-到-硅接合被附到间隔物上。如果使用玻璃间隔物，所述裸片也可以使用阳极接合被附到间隔物上。导电通孔（242）穿过层延伸并且提供在由硅裸片中的压电电阻器形成的惠斯通电桥电路之间的电连接。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 双重 绝对 压力 传感 差动 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种压力传感元件，包括：间隔物，其具有第一和第二侧，其中第一侧包括第一凹槽，第二侧包括第二凹槽，所述间隔物进一步具有位于凹槽外面的第一绝缘导电通孔；第一硅裸片，其被附到间隔物的第一侧上并且覆盖第一凹槽，其中第一硅裸片具有第一和第二侧，第一硅裸片的第一侧包括电路、电互连、被耦合到第一绝缘导电通孔的第二绝缘导电通孔和第一硅膜片；和第二硅裸片，其被附到间隔物的第二侧上并且覆盖第二凹槽，其中第二硅裸片具有第一和第二侧，第二硅裸片的第一侧包括电路、电互连和第二硅膜片。
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