[发明专利]放大成像光学单元和包含该成像光学单元的测量系统有效
| 申请号： | 201280006078.3 | 申请日： | 2012-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN103329026B | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | H-J.曼 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B17/06 | 分类号： | G02B17/06;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种放大成像光学单元(7)具有至多四个反射镜(M1至M4)，其经由成像光束路径(8)将物平面(11)中的物场(6)成像至像平面(12)中的像场(9)中，所述成像光束路径(8)在所述成像光束路径(8)中相邻的反射镜(M1至M4)之间具有成像部分光线(25、19、20)。光学单元(7)被设计为使得成像光束路径(8)中的第二个反射镜(M2)和成像光束路径(8)中的第三个反射镜(M3)之间的第一成像部分光线(19)、与成像光束路径(8)中的第三个反射镜(M3)和成像光束路径(8)中的第四个反射镜(M4)之间的第二成像部分光线(20)分别通过成像光束路径(8)中的第一个反射镜(M1)的镜体(22)中的至少一个通口(21)。根据另一方面，光学单元具有至多为1300mm的结构长度T，以及结构长度T和成像比例β的小于1.5mm的比率T/β。尤其是针对给定的成像比例，这产生考虑了对成像光学单元的紧凑性和传输率的增加的需求的成像光学单元。 | ||
| 搜索关键词： | 放大 成像 光学 单元 包含 测量 系统 | ||
【主权项】：
一种放大成像光学单元(7；27；32；34；39；41；43；45；47；49；50；51；53；60；61)，‑包含至多四个反射镜(M1至M4)，其经由成像光束路径(8)将物平面(11)中的物场(6)成像至像平面(12)中的像场(9)中，所述成像光束路径(8)在所述成像光束路径(8)中相邻的反射镜(M1至M4)之间具有成像部分光线(25、19、20)，‑其中，所述光学单元(7；27；32；34；39；41；43；45；47；49；50；51；53；60；61)被设计为使得‑‑所述成像光束路径(8)中的第二个反射镜(M2)和所述成像光束路径(8)中的第三个反射镜(M3)之间的第一成像部分光线(19)，以及‑‑所述成像光束路径(8)中的所述第三个反射镜(M3)之后的第二成像部分光线(20)‑‑分别通过所述成像光束路径(8)中的第一个反射镜(M1)的镜体(22)中的至少一个通口(21；21a、21b)。
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