[发明专利]液体馈送泵及流量控制装置

摘要

本发明提供几乎不产生颗粒的液体馈送泵。本发明的液体馈送泵包括：泵壳体；隔膜（180），在其与凹部面之间形成泵室（123），划分泵室（123）和孔；往复运动部件，以能够进行往复运动的方式插入孔中，通过往复运动使隔膜（180）变形；驱动部（140），使往复运动部件在往复运动的方向上发生位移；密封部，在凹部面的外周侧包围的位置处，通过夹持隔膜（180）来进行密封；隔膜接收面，设置在密封部与开口部之间，所述隔膜接收面与隔膜（180）抵接的面的面积、即抵接面积根据位移与泵室（123）的内压而发生变化。抵接面积随着往复运动部件向凹部面侧的位移的增加而减小，随着泵室（123）的内压的上升而增加。

主权项

一种液体馈送泵，包括：泵壳体，形成有柱状孔、与所述孔的开口部及其周缘部相对的凹部面、在所述凹部面具有吸入口的吸入通路、以及在所述凹部面具有排出口的排出通路；隔膜，在其与所述凹部面之间形成泵室，并且划分所述泵室和所述孔；往复运动部件，以能够进行往复运动的方式插入所述孔中，通过所述往复运动推压所述隔膜，从而使其变形；驱动部，使所述往复运动部件在所述往复运动的方向上以所述往复运动的冲程可变的方式周期性地进行位移；密封部，在所述凹部面的外周侧包围的位置处，通过夹持所述隔膜来进行密封；以及隔膜接收面，设置在所述密封部与所述开口部之间，所述隔膜接收面与所述隔膜抵接的面的面积、即抵接面积根据所述位移与所述泵室的内压而发生变化，其中，所述抵接面积根据所述往复运动部件向所述凹部面侧的位移的增加而减小，根据所述泵室的内压的上升而增加。