[发明专利]液体馈送泵及流量控制装置

权利要求书

1.一种液体馈送泵，包括：

泵壳体，形成有柱状孔、与所述孔的开口部及其周缘部相对的凹部面、在所述凹部面具有吸入口的吸入通路、以及在所述凹部面具有排出口的排出通路；

隔膜，在其与所述凹部面之间形成泵室，并且划分所述泵室和所述孔；

往复运动部件，以能够进行往复运动的方式插入所述孔中，通过所述往复运动推压所述隔膜，从而使其变形；

驱动部，使所述往复运动部件在所述往复运动的方向上以所述往复运动的冲程可变的方式周期性地进行位移；

密封部，在所述凹部面的外周侧包围的位置处，通过夹持所述隔膜来进行密封；以及

隔膜接收面，设置在所述密封部与所述开口部之间，所述隔膜接收面与所述隔膜抵接的面的面积、即抵接面积根据所述位移与所述泵室的内压而发生变化，其中，

所述抵接面积根据所述往复运动部件向所述凹部面侧的位移的增加而减小，根据所述泵室的内压的上升而增加。

2.根据权利要求1所述的液体馈送泵，其中，

所述密封部通过密封加压面和密封接收面对所述隔膜进行夹持，所述密封加压面是与所述凹部面连续的面，所述密封接收面是与所述隔膜接收面连续的面，

所述密封接收面与所述隔膜接收面光滑地连续。

3.根据权利要求2所述的液体馈送泵，其中，

所述密封接收面是环状的平面。

4.根据权利要求3所述的液体馈送泵，其中，

所述隔膜接收面形成为环状的平面，并且，所述开口部与所述隔膜接收面形成为同心状。

5.根据权利要求2至4中的任意一项所述的液体馈送泵，其中，

所述隔膜接收面与所述密封接收面形成为同一平面。

6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的液体馈送泵，其中，所述往复运动部件包括：

顶端部，其与所述隔膜之间的抵接面具有为凸状的曲面。

7.根据权利要求1至6中的任意一项所述的液体馈送泵，其中，

所述凹部面在与向排出方向驱动时的隔膜形状嵌合的方向上具有凹状的曲面、即凹状曲面，

所述凹状曲面包括：吸入侧槽部，从所述吸入通路的开口部向所述凹状曲面的中心方向延伸，并且与所述泵室连通；以及排出侧槽部，从所述排出通路的开口部向所述凹状曲面的中心方向延伸，并且与所述泵室连通。

8.根据权利要求1至7中的任意一项所述的液体馈送泵，其中，所述驱动部包括：

压电致动器，对所述隔膜进行驱动。

9.一种对液体馈送泵进行控制的流量控制装置，包括：

权利要求8所述的液体馈送泵；以及

控制部，对给所述压电致动器施加的电压进行操作，从而对所述液体馈送泵的排出流量进行控制。

10.根据权利要求9所述的流量控制装置，其中，

所述控制部给所述压电致动器施加脉冲状的电压、即脉冲电压，并且对所述脉冲电压的最大值进行操作，从而对所述液体馈送泵的排出流量进行控制。

11.根据权利要求9或10所述的流量控制装置，其中，包括：

压力传感器，对从所述排出通路排出的流体的排出压力进行计量；

所述控制部根据所述计量出的排出压力进行限制，使得所述冲程小于预先设定的预定值。

12.根据权利要求9至11中的任意一项所述的对液体馈送泵进行控制的流量控制装置，其中，包括：

流量传感器，对从所述排出通路排出的流体的排出流量进行计量；

所述控制部根据所述计量出的排出流量进行限制，使得所述往复运动的驱动周期大于预先设定的预定值。

13.根据权利要求9至12中的任意一项所述的流量控制装置，其中，包括：

流量传感器，对从所述排出通路排出的流体的排出流量进行计量；

所述控制部具有如下的工作模式，即，当计量出的所述排出流量增加时延长所述往复运动的驱动周期，当所述排出流量减少时缩短所述往复运动的驱动周期。

14.根据权利要求9至13中的任意一项所述的流量控制装置，其中，所述液体馈送泵具有：

流量传感器，对所述液体馈送泵的排出流量进行计量；

所述控制部通过反馈在所述往复运动的每一个驱动周期中以多个计量时刻计量的排出流量来进行流量控制。