[实用新型]一种金属有机化学气相沉淀设备

摘要

本实用新型提供一种金属有机化学气相沉淀设备，包括腔体、设置有喷淋头的腔盖、带动所述腔盖开合的位移机构，和驱动所述位移机构工作的电动机系统，所述电动机系统包括电动机和用于驱动电动机工作的电源，其特征在于，还包括连接于所述电动机与电源之间的电源控制模块，所述电源控制模块包括限流器，所述限流器用于限制输出到所述电动机的实际电流不高于一设定值。本实用新型还提供一种电动机系统。本实用新型在电路中增加低成本的调压限流电源控制模块，使得电动机转速可调并且实际电流可限制在电动机额定电流的任何范围内，有效限制了电动机转矩，可靠保护了位移机构并保证喷淋头不会损坏。

主权项

一种金属有机化学气相沉淀设备，包括腔体、设置有喷淋头的腔盖、带动所述腔盖开合的位移机构，和驱动所述位移机构工作的电动机系统，所述电动机系统包括电动机和用于驱动电动机工作的电源，其特征在于，还包括连接于所述电动机与电源之间的电源控制模块，所述电源控制模块包括限流器，所述限流器用于限制输出到所述电动机的实际电流不高于一设定值。