[实用新型]一种金属有机化学气相沉淀设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及外延生长设备技术领域改进，尤其是用于控制电动机升降的电动机系统。 

背景技术

现有的金属有机化学气相沉淀(以下简称MOCVD)设备有两个用于喷淋头升降的电动机，都使用恒定电压作为驱动电源。但是，这种电动机的电源电压恒定不能调节，使得电动机的输出电流会随着负载变化而变化。例如在电动机开始启动时，启动电流增大，往往达到额定电流4～7倍，将导致线路电压下降，影响负载正常工作。 

为此，如图1所示，每个电动机电路中设置一只可调整电流大小的限流开关18，当电动机12负载电流大于这个限流开关的设置值而且维持一段时间后，限流开关自动断开，这时电动机12与电源13不连通而失电，达到对电动机12过载保护的目的。 

但是，回路中限流开关的关断与否是由负载电流的大小和持续时间来决定的，这样就造成电动机过载保护不灵敏而并且不能预防电动机过载所带来的一系列影响。例如，若电动机过载持续时间过长，可能已经使得喷淋头的提升位移机构损伤、甚至喷淋头的损坏，而喷淋头损坏是MOCVD设备的重大损失。另外，现有的电源控制电路也不能调节电动机的转速，不能对电动机的输出转矩进行可控调节。 

实用新型内容

为解决现有技术的问题，本实用新型提供一种用于金属有机化学气相沉积设备的电动机系统。 

这种金属有机化学气相沉淀设备，包括腔体、设置有喷淋头的腔盖、带动所述腔盖开合的位移机构，和驱动所述位移机构工作的电动机系统，所述电动机系统包括电动机和用于驱动电动机工作的电源，还包括连接于所述电动机与电源之间的电源控制模块，所述电源控制模块包括限流器，所述限流器用于限制输出到所述电动机的实际电流不高于一设定值。这种设计使得电动机不会输 出过大的扭矩，造成喷淋头的损伤，同时电动机系统仍处于工作状态，不会使得电动机控制系统断电，从而缩短系统重置和恢复时间。 

优选地，所述电源控制模块还包括：电压控制器，所述电压控制器用于调节输出到所述电动机的实际电压。电压控制器的引入可以通过调节输出到电动机的电压，而调节电动机的转速，从而能调节腔盖的开合速度，因此可以减少腔盖的开合时间。 

优选地，所述电动机是感应电动机。 

优选地，所述设定值不高于所述电动机的额定电流。 

优选地，所述位移机构包括丝杆，所述丝杆通过螺纹配合与所述腔盖连接；所述电动机系统用于驱动所述丝杆转动。 

优选地，所述位移机构包括相互平行的两丝杆，所述两丝杆同步转动以驱动所述腔盖开合。两平行丝杆使得腔盖开合平稳，防止腔盖倾斜，损伤喷淋头。 

本实用新型还提供这一电动机系统，包括电动机和驱动电动机工作的电源，还包括连接于所述电动机与电源之间的电源控制模块，所述电源控制模块包括限流器，所述限流器用于限制输出到所述电动机的实际电流不高于一设定值。 

优选地，所述电源控制模块还包括电压控制器，所述电压控制器用于调节输出到所述电动机的实际电压。 

优选地，优选地，所述电动机是感应电动机。 

优选地，所述设定值不高于所述电动机的额定电流。 

本实用新型的优点：本实用新型的金属有机化学气相沉积设备及其电动机系统，在电路中增加了一个低成本的调压限流电源控制模块，使得电动机转速可调并且实际电流可限制在电动机额定电流的任何范围内，有效限制了电动机转矩，可靠保护了位移机构并保证喷淋头不会损坏。 

附图说明

图1为现有的电动机系统示意图。 

图2为本实用新型实施例金属有机化学气相沉积设备结构示意图。 

图3为本实用新型实施例的电动机系统示意图。 

具体实施方式

下面，将结合附图对本实用新型实施例作详细说明。 

如图2所示，本实用新型提供一种用于金属有机化学气相沉积设备，包括腔体20、设置有喷淋头23的腔盖21、带动所述腔盖21开合的位移机构22，和驱动所述位移机构22的电动机系统10。 

其中，所述位移机构22包括丝杆24，所述丝杆24通过螺纹配合与所述腔盖21连接；通过所述电动机系统10驱动该丝杆24转动。进一步地，该丝杆24优选两根且相互平行设置，所述两丝杆24同步转动以驱动所述腔盖21开合。这种结构能使腔盖21开合平稳，防止腔盖21倾斜，损伤喷淋头23。 

其中，结合图3所示，电动机系统10包括电动机12和用于驱动电动机12工作的电源13，还包括连接于所述电动机12与电源13之间的电源控制模块15，其中，电源13是采用交流电源。 

其中，所述电源控制模块15包括：