[实用新型]用于制备薄膜太阳能电池背电极的掩膜装置有效
| 申请号： | 201220713800.4 | 申请日： | 2012-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN203049019U | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 宋龑骁;李毅;周建华;胡强;吴志武;王宁;陈志新;张青 | 申请（专利权）人： | 深圳市创益科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04;H01L31/20 |
| 代理公司： | 深圳市毅颖专利商标事务所 44233 | 代理人： | 段立丽;李奕晖 |
| 地址： | 518029 广东省深圳市福田区深南大道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于制备薄膜太阳能电池背电极的掩膜装置，属于太阳能电池制造技术领域。为了实现一次性制作非晶硅薄膜太阳能电池的背电极及其刻划绝缘线，本实用新型设计了一种用于制备薄膜太阳能电池背电极的掩膜装置，包括安装在边框上的两层网状膜架，电池基片放置在两层膜架之间，且两层膜架由边框上的锁扣扣合锁紧。本实用是新型可以在制作背电极的同时一次性完成电池背电极分节线和切割绝缘线的工作，将原来的工艺从三步缩减为一步，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制备 薄膜 太阳能电池 电极 装置 | ||
【主权项】：
用于制备薄膜太阳能电池背电极的掩膜装置，其特征在于包括安装在边框（2）上的两层网状膜架，电池基片（7）放置在两层膜架之间，且两层膜架由边框（2）上的锁扣（6）扣合锁紧。
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