[实用新型]用于制备薄膜太阳能电池背电极的掩膜装置有效
| 申请号: | 201220713800.4 | 申请日: | 2012-12-21 |
| 公开(公告)号: | CN203049019U | 公开(公告)日: | 2013-07-10 |
| 发明(设计)人: | 宋龑骁;李毅;周建华;胡强;吴志武;王宁;陈志新;张青 | 申请(专利权)人: | 深圳市创益科技发展有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C16/04;H01L31/20 |
| 代理公司: | 深圳市毅颖专利商标事务所 44233 | 代理人: | 段立丽;李奕晖 |
| 地址: | 518029 广东省深圳市福田区深南大道*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 制备 薄膜 太阳能电池 电极 装置 | ||
1.用于制备薄膜太阳能电池背电极的掩膜装置,其特征在于包括安装在边框(2)上的两层网状膜架,电池基片(7)放置在两层膜架之间,且两层膜架由边框(2)上的锁扣(6)扣合锁紧。
2.根据权利要求1所述的用于制备薄膜太阳能电池背电极的掩膜装置,其特征在于所述两层网状膜架中的一个膜架由压块(4)压紧在边框上,另一个膜架通过活页(5)与边框(2)连接。
3.根据权利要求1所述的用于制备薄膜太阳能电池背电极的掩膜装置,其特征在于所述两层网状膜架中的一个膜架的网状结构由电池分节线(101)和切割绝缘线(102)构成,另一个膜架的网状结构由加强筋(301)纵横排列构成。
4.根据权利要求3所述的用于制备薄膜太阳能电池背电极的掩膜装置,其特征在于所述切割绝缘线(102)的宽度为2~5mm,电池分节线(101)的宽度为0.2~0.5mm。
5.根据权利要求3所述的用于制备薄膜太阳能电池背电极的掩膜装置,其特征在于所述加强筋(301)上安装有压紧弹片(302),电池基片(7)由压紧弹片(302)贴紧在两层膜架之间。
6.根据权利要求3所述的用于制备薄膜太阳能电池背电极的掩膜装置,其特征在于所述两层网状膜架中的一个膜架具有纵横交叉的切割绝缘线(102)以及平行排列的电池分节线(101)。
7.根据权利要求1所述的用于制备薄膜太阳能电池背电极的掩膜装置,其特征在于所述两层网状膜架中的一个膜架为金属薄板,其上刻有对位线。
8.根据权利要求1所述的用于制备薄膜太阳能电池背电极的掩膜装置,其特征在于边框(2)的内侧设有凹槽,两层网状膜架中的一个膜架插紧在边框(2)的凹槽内。
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