[实用新型]一种半导体探测器

摘要

本实用新型公开了一种半导体探测器，属于半导体技术领域。所述探测器包括衬底、依次层叠在所述衬底上的缓冲层和不掺杂的氮化镓层、以及设于所述不掺杂的氮化镓层上的两个电极，所述不掺杂的氮化镓层上设有金属纳米颗粒层，所述金属纳米颗粒层上的金属纳米颗粒间隔分布。本实用新型通过在半导体层的不掺杂的氮化镓层上设置金属纳米颗粒层，当探测器在工作时，入射光照射在半导体层上的金属纳米颗粒层上，激发了金属的表面等离子体，与入射光发生共振反应，从而增强了光的散射效应，使得电子空穴对的复合效率得到了极大的提高，进而提高了探测光的探测性能。

主权项

一种半导体探测器，所述探测器包括衬底、依次层叠在所述衬底上的缓冲层和不掺杂的氮化镓层、以及设于所述不掺杂的氮化镓层上的两个电极，其特征在于，所述不掺杂的氮化镓层上设有金属纳米颗粒层，所述金属纳米颗粒层中的金属纳米颗粒间隔分布。