[实用新型]一种半导体探测器有效
| 申请号: | 201220690685.3 | 申请日: | 2012-12-12 | 
| 公开(公告)号: | CN203165903U | 公开(公告)日: | 2013-08-28 | 
| 发明(设计)人: | 皮智华;周武;兰叶 | 申请(专利权)人: | 华灿光电股份有限公司 | 
| 主分类号: | H01L31/0216 | 分类号: | H01L31/0216;H01L31/08 | 
| 代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 徐立 | 
| 地址: | 430223 湖北省*** | 国省代码: | 湖北;42 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 半导体 探测器 | ||
1.一种半导体探测器,所述探测器包括衬底、依次层叠在所述衬底上的缓冲层和不掺杂的氮化镓层、以及设于所述不掺杂的氮化镓层上的两个电极,其特征在于,所述不掺杂的氮化镓层上设有金属纳米颗粒层,所述金属纳米颗粒层中的金属纳米颗粒间隔分布。
2.根据权利要求1所述的探测器,其特征在于,所述金属纳米颗粒为铝金属纳米颗粒。
3.根据权利要求1所述的探测器,其特征在于,所述电极为镍/金金属焊盘。
4.根据权利要求1所述的探测器,其特征在于,所述缓冲层为氮化镓缓冲层。
5.根据权利要求1所述的探测器,其特征在于,所述衬底为蓝宝石衬底。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





