[实用新型]扩散炉的氢氧输入控制装置有效
| 申请号: | 201220689016.4 | 申请日: | 2012-12-13 |
| 公开(公告)号: | CN203007483U | 公开(公告)日: | 2013-06-19 |
| 发明(设计)人: | 周金廷 | 申请(专利权)人: | 深圳深爱半导体股份有限公司 |
| 主分类号: | C30B31/16 | 分类号: | C30B31/16;C30B31/18 |
| 代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 吴平 |
| 地址: | 518118 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 一种扩散炉的氢氧输入控制装置,包括第一电磁阀、第一气动阀和第二气动阀。分别利用第一和第二气动阀来控制氧气和氢气输入扩散炉,第一和第二气动阀的控制端都通过气管与第一电磁阀的输出端连接,第一电磁阀的输入端与压缩空气输入管连接。当第一电磁阀的控制端接收到第一控制信号后第一电磁阀打开,压缩空气经第一电磁阀流入第一和第二气动阀的控制端使第一和第二气动阀同时打开,从而使氧气和氢气同时经扩散炉进气管通入扩散炉,避免氢气通入扩散炉时氧气没有通入,导致扩散炉内氢气过多而不完全燃烧。 | ||
| 搜索关键词: | 扩散 输入 控制 装置 | ||
【主权项】:
一种扩散炉的氢氧输入控制装置,其特征在于,包括:第一电磁阀,所述第一电磁阀的控制端与第一控制信号接入端连接,所述第一电磁阀的输入端与压缩空气输入管连接;第一气动阀,所述第一气动阀的控制端与所述第一电磁阀的输出端通过气管连接,所述第一气动阀的输入端与氧气输入管连接,输出端与扩散炉进气管连接;第二气动阀,所述第二气动阀的控制端与所述第一电磁阀的输出端通过气管连接,所述第二气动阀的输入端与氢气输入管连接,输出端与所述扩散炉进气管连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳深爱半导体股份有限公司,未经深圳深爱半导体股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201220689016.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。





