[实用新型]扩散炉的氢氧输入控制装置有效
| 申请号： | 201220689016.4 | 申请日： | 2012-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN203007483U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 周金廷 | 申请（专利权）人： | 深圳深爱半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16;C30B31/18 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴平 |
| 地址： | 518118 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扩散 输入 控制 装置 | ||
1.一种扩散炉的氢氧输入控制装置，其特征在于，包括：
第一电磁阀，所述第一电磁阀的控制端与第一控制信号接入端连接，所述第一电磁阀的输入端与压缩空气输入管连接；
第一气动阀，所述第一气动阀的控制端与所述第一电磁阀的输出端通过气管连接，所述第一气动阀的输入端与氧气输入管连接，输出端与扩散炉进气管连接；
第二气动阀，所述第二气动阀的控制端与所述第一电磁阀的输出端通过气管连接，所述第二气动阀的输入端与氢气输入管连接，输出端与所述扩散炉进气管连接。
2.根据权利要求1所述的扩散炉的氢氧输入控制装置，其特征在于，所述第一电磁阀为分步直动式电磁阀。
3.根据权利要求1所述的扩散炉的氢氧输入控制装置，其特征在于，所述扩散炉的氢氧输入控制装置包括第二电磁阀，所述第二电磁阀的控制端与第二控制信号接入端连接，所述第二电磁阀的输入端与所述第一电磁阀的输出端通过气管连接，所述第二电磁阀的输出端与所述第二气动阀的控制端通过气管连接。
4.根据权利要求3所述的扩散炉的氢氧输入控制装置，其特征在于，所述第一控制信号接入端连接所述第二控制信号接入端。
5.根据权利要求3所述的扩散炉的氢氧输入控制装置，其特征在于，所述第二电磁阀为分步直动式电磁阀。
6.根据权利要求1所述的扩散炉的氢氧输入控制装置，其特征在于，所述第一气动阀的阀门为气动V型调节阀。
7.根据权利要求1至6任意一项所述的扩散炉的氢氧输入控制装置，其特征在于，所述第二气动阀的阀门为气动V型调节阀。
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