[实用新型]一种旋转和吹气诱导反向凝固提纯多晶硅的设备

摘要

本实用新型属于冶金提纯技术领域，特别涉及一种旋转和吹气诱导反向凝固提纯多晶硅的设备。该设备由水冷盘活动安装于真空腔室底部，石墨板置于水冷盘顶端，石墨板上开有孔，石墨支柱一端通过孔与石墨板嵌套连接，另一端与石墨托盘嵌套连接，坩埚置于石墨托盘上，石墨发热体套于坩埚外围，碳毡保温桶套于石墨发热体外，碳毡保温盖上开有孔，置于碳毡保温桶顶端，感应线圈套于碳毡保温桶外，吹气管路活动安装于真空腔室顶端，吹气管路的吹气口位于坩埚正上方中心位置。本实用新型的设备是在原有定向凝固设备的基础之上增加坩埚旋转和吹气的功能，设备改造安装方便，操作简单，能有效去除铸锭尾部富集的杂质，节约了生产周期和成本，适用于工业化大规模生产。

主权项

一种旋转和吹气诱导反向凝固提纯多晶硅的设备，由真空腔室（2）构成外壁，外壁上安装有真空管路（13），真空管路（13）一端与真空泵组（14）相连，其特征是：水冷盘（12）活动安装于真空腔室（2）底部，石墨板（11）置于水冷盘顶端，石墨板（11）上开有孔，石墨支柱（10）一端通过孔与石墨板（11）嵌套连接，另一端与石墨托盘（9）嵌套连接，坩埚（7）置于石墨托盘（9）之上，石墨发热体（6）套于坩埚外围且固定于真空腔室（2）侧壁之上，碳毡保温桶（4）套于石墨发热体（6）之外且固定于真空腔室（2）侧壁之上，碳毡保温盖（3）上开有孔，且置于碳毡保温桶（4）顶端，感应线圈（5）套于碳毡保温桶（4）之外，且固定于真空腔室（2）侧壁之上，吹气管路（1）活动安装于真空腔室（2）顶端，吹气管路（1）的吹气口位于坩埚正上方中心位置。