[实用新型]一种旋转和吹气诱导反向凝固提纯多晶硅的设备有效
| 申请号： | 201220686761.3 | 申请日： | 2012-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN202968136U | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 谭毅;胡志刚;任世强;姜大川;张晓峰 | 申请（专利权）人： | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266234 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 吹气 诱导 反向 凝固 提纯 多晶 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种旋转和吹气诱导反向凝固提纯多晶硅的设备，由真空腔室（2）构成外壁，外壁上安装有真空管路（13），真空管路（13）一端与真空泵组（14）相连，其特征是：水冷盘（12）活动安装于真空腔室（2）底部，石墨板（11）置于水冷盘顶端，石墨板（11）上开有孔，石墨支柱（10）一端通过孔与石墨板（11）嵌套连接，另一端与石墨托盘（9）嵌套连接，坩埚（7）置于石墨托盘（9）之上，石墨发热体（6）套于坩埚外围且固定于真空腔室（2）侧壁之上，碳毡保温桶（4）套于石墨发热体（6）之外且固定于真空腔室（2）侧壁之上，碳毡保温盖（3）上开有孔，且置于碳毡保温桶（4）顶端，感应线圈（5）套于碳毡保温桶（4）之外，且固定于真空腔室（2）侧壁之上，吹气管路（1）活动安装于真空腔室（2）顶端，吹气管路（1）的吹气口位于坩埚正上方中心位置。
2.根据权利要求1所述的一种旋转和吹气诱导反向凝固提纯多晶硅的设备，其特征是：所述石墨板（11）上的孔至少为3个。
3.根据权利要求1所述的一种旋转和吹气诱导反向凝固提纯多晶硅的设备，其特征是：所述石墨托盘（9）上开有卡槽。
4.根据权利要求1所述的一种旋转和吹气诱导反向凝固提纯多晶硅的设备，其特征是：所述吹气管路（1）与真空腔室（2）之间真空密封活动连接，且其吹气口距离坩埚正上方5-15cm。
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