[实用新型]一种用于清洗刻蚀盘的清洗装置有效
| 申请号： | 201220591871.1 | 申请日： | 2012-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN202951645U | 公开（公告）日： | 2013-05-29 |
| 发明（设计）人： | 袁根如;常建军;陶淳;郝茂盛;张楠 | 申请（专利权）人： | 上海蓝光科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于清洗刻蚀盘的清洗装置，所述清洗装置至少包括：用于放置刻蚀盘的盘体，其具有光滑盘面且边缘具有缺口；设置在所述光滑盘面边缘的阻挡件以及支撑所述盘体的支撑件。采用本实用新型提供的清洗装置来清洗刻蚀盘，可以保证刻蚀盘在清洗的过程中不被碰碎、压碎，从而大大提高作业效率，有效降低制造成本。且本实用新型的清洗装置结构简单，使用方便，适用于工业生产过程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 清洗 刻蚀 装置 | ||
【主权项】：
一种用于清洗刻蚀盘的清洗装置，其特征在于，所述清洗装置至少包括：用于放置刻蚀盘的盘体，其具有光滑盘面且边缘具有第一缺口；设置在所述盘体边缘的阻挡件以及支撑所述盘体的支撑件。
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