[实用新型]具有微米网格状多孔电极的电容式高分子湿度传感器有效
| 申请号： | 201220568170.6 | 申请日： | 2012-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN202837224U | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 金建东;郑丽;齐虹;李玉玲;王平;王明伟;田雷;司良有;王成杨 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十九研究所 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 牟永林 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 具有微米网格状多孔电极的电容式高分子湿度传感器，涉及一种电容式高分子湿度传感器。为了解决目前尺寸不增加的电容式高分子湿度传感器可靠性差的问题。所述它包括衬底和湿敏电容薄膜，湿敏电容薄膜包括下电极、电介质层和上电极；所述上电极为微米网格状多孔电极，所述多孔为阵列式排布的通透孔，下电极4包括过渡的金属薄层和金薄膜。它用于检测湿度的传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 微米 网格 多孔 电极 电容 高分子 湿度 传感器 | ||
【主权项】：
具有微米网格状多孔电极的电容式高分子湿度传感器，它包括衬底（1）和湿敏电容薄膜，湿敏电容薄膜包括下电极（4）、电介质层（5）和电介上电极（6）；其特征在于，所述电介上电极（6）为微米网格状多孔电极，所述多孔为阵列式排布的通透孔，下电极（4）包括过渡的金属薄层和金薄膜。
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