[实用新型]一种多晶硅铸锭用陶瓷坩埚有效
申请号: | 201220560408.0 | 申请日: | 2012-10-30 |
公开(公告)号: | CN202913087U | 公开(公告)日: | 2013-05-01 |
发明(设计)人: | 龙立华 | 申请(专利权)人: | 烟台核晶陶瓷新材料有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 265300 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种坩埚,具体涉及一种多晶硅铸锭用陶瓷坩埚。它包括坩埚体,所述的坩埚体由包括普通石英、氧化铝、碳化硅、氮化硅、碳化硅结合氮化硅或石墨制成的基层、由包括高纯氧化铝、氧化锆、碳化硅、氮化硅、氮化硼或氮氧化硅无机粉末制成的中间层及内侧的由纯度为99.99%以上的高纯石英砂通过包括喷涂、滚涂、刷涂或流延方式制成的复合层构成。作为优选,复合层的厚度为0.1~10mm。同现有技术相比,本实用新型既能满足生产高品质多晶硅铸锭的要求,又能降低石英陶瓷坩埚的综合成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 陶瓷 坩埚 | ||
【主权项】:
一种多晶硅铸锭用陶瓷坩埚,包括坩埚体(1),其特征在于在所述的坩埚体(1)由包括普通石英、氧化铝、碳化硅、氮化硅、碳化硅结合氮化硅或石墨制成的基层(1‑1)、由包括高纯氧化铝、氧化锆、碳化硅、氮化硅、氮化硼或氮氧化硅无机粉末制成的中间层(1‑2)及内侧的由纯度为99.99%以上的高纯石英砂制成的复合层(1‑3)构成。
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