[实用新型]一种多晶硅铸锭用陶瓷坩埚有效
| 申请号： | 201220560408.0 | 申请日： | 2012-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN202913087U | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 龙立华 | 申请（专利权）人： | 烟台核晶陶瓷新材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 265300 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 陶瓷 坩埚 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅铸锭用陶瓷坩埚，包括坩埚体（1），其特征在于在所述的坩埚体（1）由包括普通石英、氧化铝、碳化硅、氮化硅、碳化硅结合氮化硅或石墨制成的基层（1-1）、由包括高纯氧化铝、氧化锆、碳化硅、氮化硅、氮化硼或氮氧化硅无机粉末制成的中间层（1-2）及内侧的由纯度为99.99%以上的高纯石英砂制成的复合层（1-3）构成。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭用陶瓷坩埚，其特征在于由所述的复合层（1-3）由＜30μm、50~80μm、100~200μm、250~300μm其中的一种或两种以上的粒度的高纯石英砂分别通过包括喷涂、滚涂、刷涂或流延方式制成，复合层为一层或多层。
3.根据权利要求2所述的一种多晶硅铸锭用陶瓷坩埚，其特征在于由所述的纯度为99.99%以上的高纯石英砂制成的复合层（1-3）的厚度为0.1~10mm。
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