[实用新型]掩模版盒开锁机构有效
| 申请号： | 201220540657.3 | 申请日： | 2012-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN202944866U | 公开（公告）日： | 2013-05-22 |
| 发明（设计）人： | 李臣 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种掩模版盒开锁机构，包括安装板、滑块导轨、左锁叉、右锁叉、托架、拨杆、执行器、保护架以及缓冲器；其中，所述安装板的一端与滑块导轨固定连接；左锁叉和右锁叉对称的设置于滑块导轨下方，所述托架设置于所述左锁叉和右锁叉的底部；拨杆的两端分别与左锁叉和右锁叉活动连接，所述执行器驱动所述左锁叉和右锁叉沿所述滑块导轨滑动；执行器和保护架均固定于所述安装板上，所述缓冲器设置在所述保护架上。本实用新型通过单作用的微型气缸与拨杆配合来使左锁叉和右锁叉同步运动，确保开锁或闭合动作的一致性，并在保护架上安装缓冲器，从而保护掩模版盒盖在取放操作的时候不受过力压损，同时保证了掩模版盒盖的可靠定位。 | ||
| 搜索关键词： | 模版 开锁 机构 | ||
【主权项】：
一种掩模版盒开锁机构，其特征在于，包括安装板、滑块导轨、左锁叉、右锁叉、托架、拨杆、执行器、保护架以及缓冲器；其中， 所述安装板的一端与所述滑块导轨固定连接； 所述左锁叉和右锁叉对称的设置于所述滑块导轨下方，所述托架设置于所述左锁叉和右锁叉的底部； 所述拨杆的两端分别与所述左锁叉和右锁叉活动连接，所述执行器驱动所述左锁叉和右锁叉沿所述导轨滑动； 所述执行器和保护架均固定于所述安装板上，所述缓冲器设置在所述保护架上。
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