[实用新型]掩模版盒开锁机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及掩模版传输系统，特别涉及一种掩模版盒开锁机构。

背景技术

掩模传输系统是光刻机等众多半导体设备的重要组成分系统，主要承担掩模版的存贮、传输、定位和交换的工作，能够避免人与掩模版直接接触而对掩模版造成损害。随着集成电路的发展，电路集成度大大提高，工艺层大幅度增多，在光刻机等众多半导体设备中要求的掩模版数量也相应增多，从而对掩模传输系统的效率、可靠性等要求也更加严格。

在掩模传输系统中，掩模版盒开锁机构负责掩模版盒盖的取放操作。现有技术中，多采用占用空间较大的电机来驱动掩模版盒开锁机构以达到锁定和解锁动作。此外，由于现有的掩模版盒开锁机构中未设置过力保护措施，掩模版盒盖很容易受到过力挤压，造成损坏。

因此，如何能够提高掩模版盒盖的安全性和可靠性，成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种掩模版盒开锁机构，能够有效确保掩模版盒的安全性，避免掩模版盒盖因受到过力挤压而造成损坏。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种掩模版盒开锁机构，包括安装板、滑块导轨、左锁叉、右锁叉、托架、拨杆、执行器、保护架以及缓冲器；其中，所述安装板的一端与所述滑块导轨固定连接；所述左锁叉和右锁叉对称的设置于所述滑块导轨下方，所述托架设置于所述左锁叉和右锁叉的底部；所述拨杆的两端分别与所述左锁叉和右锁叉活动连接，所述执行器驱动所述左锁叉和右锁叉沿所述滑块导轨滑动；所述执行器和保护架均固定于所述安装板上，所述缓冲器设置在所述保护架上。

作为优选，所述执行器为气缸，更优选为微型气缸。

作为优选，还包括支撑板，所述安装板的另一端通过调整螺钉与所述支撑板相连。

作为优选，还包括位置传感检测装置，所述位置传感检测装置固定于所述安装板上。

作为优选，还包括存在传感器，所述存在传感器固定于所述安装板上。

作为优选，还包括弹性器件，所述弹性器件的两端分别与所述左锁叉和右锁叉连接。

作为优选，所述弹性器件为弹簧或皮筋。

与现有技术相比，本实用新型中的安装板的一端与滑块导轨固定连接；左锁叉和右锁叉对称的设置于滑块导轨下方，托架分别固定于左锁叉和右锁叉的底部；拨杆的两端分别与左锁叉和右锁叉活动连接，执行器驱动左锁叉和右锁叉沿所述滑块导轨滑动；执行器和保护架均固定于安装板上，缓冲器设置在保护架上。通过执行器与拨杆配合，可以使左锁叉和右锁叉同步运动，确保开锁或闭合动作的一致性。并在保护架上安装缓冲器，保护掩模版盒盖在取放操作的时候不受过力压损，同时保证了掩模版盒盖的可靠定位。

此外，在掩模控制系统断电、工作气体被切断的情况下，通过弹性器件复位来带动左锁叉和右锁叉闭合，可以有效确保掩模版盒盖的安全性。

附图说明

图1为本实用新型一具体实施例中掩模版盒开锁机构的结构示意图；

图2为本实用新型一具体实施例中掩模版盒开锁机构的局部结构示意图；

图3为本实用新型一具体实施例中掩模版盒开锁机构解锁位示意图；

图4为本实用新型一具体实施例中掩模版盒开锁机构交接工位示意图。

图中：101-支撑板、102-安装板、103-滑块导轨、104-左锁叉、105-右锁叉、106-托架、107-拨杆、108-执行器、109-保护架、110-缓冲器、111-存在传感器、112-弹性器件、113-调整螺钉、114-位置传感检测装置、201-版盒底座、202-掩模版、203-掩模版盒盖、301-机械手。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。需说明的是，本实用新型附图均采用简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

请参照图1～4，本实用新型的掩模版盒开锁机构，包括安装板102、滑块导轨103、左锁叉104、右锁叉105、托架106、拨杆107、执行器108、保护架109以及缓冲器110。