[实用新型]连续式水平溅镀机传输机构有效
| 申请号： | 201220511661.7 | 申请日： | 2012-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN202865332U | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 黄国兴;费文池;王光华;姜建峰 | 申请（专利权）人： | 赫得纳米科技（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种连续式水平溅镀机传输机构，包括传输马达、侧面导向轴承、传输胶轮、传输链条、传输主轴、传输支架和传输载盘，其特征在于：所述连续式水平溅镀机传输机构的传输侧面设置有用于保护侧面导向轴承和维持传输载盘在固定的轨道上传输的侧面导向支撑，所述侧面导向支撑为内空结构，侧面导向轴承安装在所述侧面导向支撑内部外露部分外径；所述传输载盘的四个角为圆角。本实用新型提供的连续式水平溅镀机传输机构，在传输侧面增加侧面导向支撑结构，很好的保护了侧面导向轴承，把各侧面导向轴承连接起来使两侧一直保证在水平线上，能有效的降低溅镀腔的传动故障率，提高了机台的稼动率，并节约了大量的劳动力与生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 连续 水平 溅镀机 传输 机构 | ||
【主权项】：
连续式水平溅镀机传输机构，包括传输马达、侧面导向轴承、传输胶轮、传输链条、传输主轴、传输支架和传输载盘，其特征在于:所述连续式水平溅镀机传输机构的传输侧面设置有用于保护侧面导向轴承和维持传输载盘在固定的轨道上传输的侧面导向支撑，所述侧面导向支撑为内空结构，侧面导向轴承安装在所述侧面导向支撑内部外露部分外径。
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