[实用新型]连续式水平溅镀机传输机构有效
| 申请号： | 201220511661.7 | 申请日： | 2012-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN202865332U | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 黄国兴;费文池;王光华;姜建峰 | 申请（专利权）人： | 赫得纳米科技（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 连续 水平 溅镀机 传输 机构 | ||
【权利要求书】：
1.连续式水平溅镀机传输机构，包括传输马达、侧面导向轴承、传输胶轮、传输链条、传输主轴、传输支架和传输载盘，其特征在于:所述连续式水平溅镀机传输机构的传输侧面设置有用于保护侧面导向轴承和维持传输载盘在固定的轨道上传输的侧面导向支撑，所述侧面导向支撑为内空结构，侧面导向轴承安装在所述侧面导向支撑内部外露部分外径。
2.根据权利要求1所述的连续式水平溅镀机传输机构，其特征在于：所述侧面导向支撑为长条形结构，材质为不锈钢。
3.根据权利要求1或2所述的连续式水平溅镀机传输机构，其特征在于：所述传输载盘的四个角为圆角。
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