[实用新型]一种扩散炉石英炉管有效

专利信息
申请号: 201220501670.8 申请日: 2012-09-28
公开(公告)号: CN202809005U 公开(公告)日: 2013-03-20
发明(设计)人: 张虎 申请(专利权)人: 中电电气(南京)光伏有限公司
主分类号: C30B31/10 分类号: C30B31/10;C30B31/16
代理公司: 江苏圣典律师事务所 32237 代理人: 程化铭
地址: 211100 江苏省南京*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种扩散炉石英炉管,包括由石英炉管内引出的排气管,排气管接入尾液瓶。所述尾液瓶上部的尾气排口通过三通分别联通排风管道和保护氮进气管;三通与排风管道间设尾气阀门,保护氮进气管上串接单向阀和保护氮阀门。本实用新型通过在非工艺时间段内通过向排气管反吹一定量N2方案,可有效避免排气管因堵塞造成断裂给工艺和设备维护带来的损失,结构简单实用,成本低廉,延长了石英炉管及排气管的使用寿命和维护周期,同时保证电池片的品质。
搜索关键词: 一种 扩散 石英 炉管
【主权项】:
一种扩散炉石英炉管,包括由石英炉管内引出的排气管,排气管接入尾液瓶;其特征是:所述尾液瓶上部的尾气排口通过三通分别联通排风管道和保护氮进气管;三通与排风管道间设尾气阀门,保护氮进气管上串接单向阀和保护氮阀门。
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