[实用新型]一种扩散炉石英炉管有效
| 申请号： | 201220501670.8 | 申请日： | 2012-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN202809005U | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 张虎 | 申请（专利权）人： | 中电电气（南京）光伏有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/10 | 分类号： | C30B31/10;C30B31/16 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 程化铭 |
| 地址： | 211100 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 石英 炉管 | ||
【权利要求书】：
1.一种扩散炉石英炉管，包括由石英炉管内引出的排气管，排气管接入尾液瓶；其特征是：所述尾液瓶上部的尾气排口通过三通分别联通排风管道和保护氮进气管；三通与排风管道间设尾气阀门，保护氮进气管上串接单向阀和保护氮阀门。
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