[实用新型]一种用于三氯氢硅生产的除尘系统有效
申请号: | 201220489930.4 | 申请日: | 2012-09-24 |
公开(公告)号: | CN202785677U | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
发明(设计)人: | 姚又省;刘继三;陈维平;薛民权;李细巧 | 申请(专利权)人: | 华陆工程科技有限责任公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 西安文盛专利代理有限公司 61100 | 代理人: | 佘文英 |
地址: | 710065 陕西省*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种用于三氯氢硅生产的除尘系统,包括洗涤塔和洗涤塔顶部的冷凝器,还包括文丘里洗涤器、气液分离罐和循环泵,气液分离罐一端与文丘里洗涤器连接,另外两端分别与气体进口和液体进口连接;循环泵一端与文丘里洗涤器连接,另一端与液体出口连接。其中洗涤塔上部的直径小于下部的直径,上部为穿流板和筛板相结合的结构型式,下部设有内件挡板。本实用新型提供的除尘系统对旋风除尘后的反应气体进行了进一步的处理,反应气体中含有的高沸物、金属氯化物以及微量的细小硅粉在该装置中被除去,使得反应气体在进入冷凝系统时不会堵塞管道和设备,减轻了三氯氢硅中金属氯化物和高沸物的污染,并为装置的连续稳定运行提供了保障。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 三氯氢硅 生产 除尘 系统 | ||
【主权项】:
一种用于三氯氢硅生产的除尘系统,包括洗涤塔(7)和洗涤塔顶部的冷凝器(9),其中洗涤塔(7)由位于上部的洗涤部分和位于下部的沉降部分组成,其特征在于,还包括文丘里洗涤器(2)、气液分离罐(3)和循环泵(13),所述洗涤塔上部设有气体出口和洗涤液进口,洗涤塔下部设有气体进口、液体进口和液体出口,洗涤塔底部设有浆料出口;气液分离罐(3)一端与文丘里洗涤器(2)连接,另外两端分别与气体进口和液体进口连接;循环泵(13)一端与文丘里洗涤器(2)连接,另一端与液体出口连接。
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