[实用新型]一种用于三氯氢硅生产的除尘系统

权利要求书

1.一种用于三氯氢硅生产的除尘系统，包括洗涤塔(7)和洗涤塔顶部的冷凝器(9)，其中洗涤塔(7)由位于上部的洗涤部分和位于下部的沉降部分组成，其特征在于，还包括文丘里洗涤器(2)、气液分离罐(3)和循环泵(13)，所述洗涤塔上部设有气体出口和洗涤液进口，洗涤塔下部设有气体进口、液体进口和液体出口，洗涤塔底部设有浆料出口；气液分离罐(3)一端与文丘里洗涤器(2)连接，另外两端分别与气体进口和液体进口连接；循环泵(13)一端与文丘里洗涤器(2)连接，另一端与液体出口连接。

2.根据权利要求1所述的除尘系统，其特征在于，所述洗涤塔上部为穿流板(15)和筛板(14)相结合的形式。

3.根据权利要求1所述的除尘系统，其特征在于，所述洗涤塔下部的直径大于上部的直径，洗涤塔底部为锥形。

4.根据权利要求1所述的除尘系统，其特征在于，所述洗涤塔下部设有内件挡板(16)。

5.根据权利要求1所述的除尘系统，其特征在于，所述洗涤液进口为一个或多个。

6.根据权利要求1所述的除尘系统，其特征在于，所述液体进口位于挡板(16)下方，液体出口位于挡板(16)上方。