[实用新型]一种新型防硅片掉落的石墨舟装置

摘要

本实用新型公开了一种新型防硅片掉落的石墨舟装置，包括石墨舟片，陶瓷棒，工艺点，其中石墨舟片以互相平行且间距相等的方式排列；将每个石墨舟片上边缘平均分成N等份；石墨舟片的下边缘分成N+1份，且下边缘两端的第一根陶瓷管与其相邻陶瓷管间的距离不同，中间位置的相邻两个陶瓷管间的距离相同；在分点处用与石墨舟片垂直的陶瓷管将石墨舟片固定；石墨舟下端任意一个陶瓷管到与其相邻的上边缘陶瓷管对应点之间较长的距离均小于硅片的尺寸。本实用新型的有益效果是降低碎片率，提高生产效率，节约生产成本。

主权项

一种新型防硅片掉落的石墨舟装置，包括石墨舟片，陶瓷棒，工艺点，其特征是：所述石墨舟片以互相平行且间距相等的方式排列；将每个石墨舟片上边缘分成N份，石墨舟片的下边缘分成N+1份；在分点处用与石墨舟片垂直的陶瓷管将石墨舟片固定。