[实用新型]一种新型防硅片掉落的石墨舟装置有效
申请号: | 201220483080.7 | 申请日: | 2012-09-21 |
公开(公告)号: | CN202839717U | 公开(公告)日: | 2013-03-27 |
发明(设计)人: | 芦栋凯 | 申请(专利权)人: | 浙江鸿禧光伏科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/673 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 314206 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 硅片 掉落 石墨 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及晶硅太阳能电池制造领域,具体地涉及到一种新型防硅片掉落的石墨舟装置。
背景技术
在晶硅太阳能电池片的生产工艺PECVD过程中,首先需要将硅片插在石墨舟内,硅片由石墨舟上的三个工艺点(石墨钉)固定,再经过上料,进舟,加热等过程完成镀膜过程。如果硅片没有放到位或者本身存在隐裂,在炉管内经过高温和高频放电的情况下,就会使得原本卡在石墨舟工艺点上的硅片掉落。一旦硅片掉落,碰到相邻的硅片就会出现短路现象,产生高频报警。当机器高频报警时,机器会自动将石墨舟退出,而在退出的过程中,需要通过机器自带的浆来取出。当浆进入炉管内时,会将掉落下来的硅片捣碎,并且捣碎的硅片会连带将周围的硅片捣碎。根据统计,机器报警一次会导致碎片4至6片。因此,现有的石墨舟的设计结构不仅影响生产效率,而且增加了生产成本。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种新型防硅片掉落的石墨舟装置,解决现有石墨舟使用过程中经常会出现碎片的问题。
本实用新型的技术方案为一种新型防硅片掉落的石墨舟装置,包括石墨舟片,陶瓷管,工艺点,其中石墨舟片以互相平行且间距相等的方式排列;将每个石墨舟片上边缘平均分成N等份;石墨舟片的下边缘分成N+1份,且下边缘两端的第一根陶瓷管与其相邻陶瓷管间的距离不同,中间位置的相邻两个陶瓷管间的距离相同;在分点处用与石墨舟片垂直的陶瓷管将石墨舟片固定;石墨舟下端任意一个陶瓷管到与其相邻的上边缘陶瓷管对应点之间较长的距离均小于硅片的尺寸。
本实用新型的有益效果是降低碎片率,提高生产效率,节约生产成本。
附图说明
图1为本实用新型提供的新型防硅片掉落的石墨舟装置的侧视图
图中1代表陶瓷管;2代表工艺点;A为石墨舟片下边缘左端的陶瓷管与相邻陶瓷管间的距离;B为石墨舟片下边缘处于中间位置的相邻两个陶瓷管间的距离;C为石墨舟片下边缘右端的陶瓷管与相邻陶瓷管间的距离;D为石墨舟片上边缘相邻两个陶瓷管之间的距离;E为石墨舟下端任意一个陶瓷管到与其相邻的上边缘陶瓷管对应点之间较长的距离。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型技术方案进行详细说明。
1.本实施方式中设计的石墨舟装置是由20片石墨舟片和15根陶瓷管组成。
2.石墨舟片上边缘平均分成六等份,相邻两个陶瓷管之间的距离D为175mm。
3.石墨舟片下边缘共分成七份,其中左端第一根陶瓷管与相邻陶瓷管间的距离A为151.5mm,右端第一根陶瓷管与相邻陶瓷管间的距离C为23.5mm,石墨舟片下边缘处于中间位置的相邻两个陶瓷管间的距离B为175mm,石墨舟下端任意一个陶瓷管到与其相邻的上边缘陶瓷管对应点之间较长的距离E为151.5mm。
最后所应说明的是,以上实施例仅用于说明本实用新型的技术方案而非限制,尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明,本领域的普通技术人员应当理解,可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换,而不脱离本实用新型技术方案的精神和范围,其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围中。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的