[实用新型]静电测试装置有效

专利信息
申请号: 201220367079.8 申请日: 2012-07-26
公开(公告)号: CN202710683U 公开(公告)日: 2013-01-30
发明(设计)人: 王全军;李丽;李政良 申请(专利权)人: 北京京东方光电科技有限公司
主分类号: G01R31/00 分类号: G01R31/00
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 黄志华
地址: 100176 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型公开了一种静电测试装置,包括测试探头和至少一个测距定位模块,测距定位模块和所述测试探头设置在静电测试装置的同一个面;至少一个测距定位模块包括第一测距定位模块,所述第一测距定位模块包括第一激光发射头和第一激光接收头;所述第一激光发射头和第一激光接收头之间的距离为2L1;第一激光发射头所发射的激光与测试探头所在面之间的夹角为α;L1与α之间的关系满足下列关系式:L1=H×ctgα;其中,H是静电测试装置的工作距离。在测试探头所在面与被测平面平行且之间的实际距离达到静电测试装置的工作距离时,第一激光接收头接收到由第一激光发射头发射经被测平面反射的反射线,进而使静电测试装置能够准确测量被测平面的静电值。
搜索关键词: 静电 测试 装置
【主权项】:
一种静电测试装置,包括测试探头,其特征在于,还包括:至少一个测距定位模块,所述测距定位模块和所述测试探头设置在所述静电测试装置的同一个面;所述至少一个测距定位模块包括第一测距定位模块,所述第一测距定位模块包括第一激光发射头和第一激光接收头;所述第一激光发射头和第一激光接收头之间的距离为2L1;所述第一激光发射头所发射的激光与测试探头所在面之间的夹角为α;L1与α之间的关系满足下列关系式:L1=H×ctgα;其中,H是静电测试装置的工作距离。
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