[实用新型]静电测试装置

权利要求书

1.一种静电测试装置，包括测试探头，其特征在于，还包括：至少一个测距定位模块，所述测距定位模块和所述测试探头设置在所述静电测试装置的同一个面；

所述至少一个测距定位模块包括第一测距定位模块，所述第一测距定位模块包括第一激光发射头和第一激光接收头；所述第一激光发射头和第一激光接收头之间的距离为2L₁；所述第一激光发射头所发射的激光与测试探头所在面之间的夹角为α；L₁与α之间的关系满足下列关系式：L₁=H×ctgα；

其中，H是静电测试装置的工作距离。

2.如权利要求1所述的静电测试装置，其特征在于，所述至少一个测距定位模块还包括第二测距定位模块；

所述第二激光发射头和第二激光接收头之间的距离为2L₂；所述第二激光发射头所发射的激光与测试探头所在面之间的夹角为β；L₂与β之间的关系满足下列关系式：L₂=H×ctgβ。

3.如权利要求2所述的静电测试装置，其特征在于，所述静电测试装置的工作距离H为0.5厘米～5厘米。

4.如权利要求2所述的静电测试装置，其特征在于，α为30°～80°；β为30°～80°。

5.如权利要求2或3或4所述的静电测试装置，其特征在于，α=β。

6.如权利要求2或3或4所述的静电测试装置，其特征在于，所述第一测距定位模块所在直线与所述第二测距定位模块所在直线之间的夹角是任意角度。

7.如权利要求2或3或4所述的静电测试装置，其特征在于，所述第一测距定位模块所在直线与所述第二测距定位模块所在直线平行。

8.如权利要求2所述的静电测试装置，其特征在于，所述静电测试装置的 工作距离H为2.5厘米；所述第一测距定位模块与所述第二测距定位模块在同一条直线上，α=β=60°。

9.如权利要求2所述的静电测试装置，其特征在于，所述静电测试装置的工作距离H为2.5厘米；所述第一测距定位模块所在直线与所述第二测距定位模块所在直线之间的夹角是90°，α=β=60°。