[实用新型]一种开路短路OS测试装置有效

专利信息
申请号: 201220366697.0 申请日: 2012-07-26
公开(公告)号: CN202712130U 公开(公告)日: 2013-01-30
发明(设计)人: 裴晓光;邓朝阳;赵海生;马海涛;肖志莲;林子锦 申请(专利权)人: 北京京东方光电科技有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66;G02F1/13
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 黄志华
地址: 100176 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型涉及TFT阵列基板电学测试技术领域,特别涉及一种OS测试装置,用于提高OS测试装置的测试范围。本实用新型公开了一种开路短路OS测试装置,包括:基座、工作台、第一传感器、第二传感器、线扫描成像单元和OS信息处理系统,其中,第一传感器镶嵌在工作台上,且第一传感器信号发射端的发射端面与工作台的上表面在同一平面内;第二传感器可滑动安装在基座上方的横梁上,且可跟随横梁沿设置在所述基座两侧边缘的导轨移动;线扫描成像单元可滑动安装在基座上方的横梁上,且可跟随横梁沿设置在所述基座两侧边缘的导轨移动;OS信息处理系统分别与第一传感器连接、第二传感器连接和线扫描成像单元信号连接。
搜索关键词: 一种 开路 短路 os 测试 装置
【主权项】:
一种开路短路OS测试装置,包括:基座、工作台、第一传感器、第二传感器、线扫描成像单元和OS信息处理系统,其特征在于,所述第一传感器镶嵌在所述工作台上,且所述第一传感器的信号发射端的发射端面与所述工作台的上表面在同一平面内;所述第二传感器可滑动的安装在所述基座上方的横梁上,且可跟随所述横梁沿设置在所述基座两侧边缘的导轨移动;所述线扫描成像单元可滑动的安装在所述基座上方的横梁上,且可跟随所述横梁沿设置在所述基座两侧边缘的导轨移动;所述OS信息处理系统分别与所述第一传感器、所述第二传感器线和所述线扫描成像单元信号连接,控制所述第一传感器向被测基板的金属线发射测试信号,并控制所述第二传感器接收所述测试信号在被测基板的金属线上形成的扫描信息,并根据所述第二传感器接收的扫描信息,对所述基板上的金属线进行开路短路测试;以及控制线扫描成像单元进行线扫描和不良捕捉拍摄,并存储不良捕捉拍摄的图片。
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