[实用新型]一种开路短路OS测试装置有效

专利信息
申请号: 201220366697.0 申请日: 2012-07-26
公开(公告)号: CN202712130U 公开(公告)日: 2013-01-30
发明(设计)人: 裴晓光;邓朝阳;赵海生;马海涛;肖志莲;林子锦 申请(专利权)人: 北京京东方光电科技有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66;G02F1/13
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 黄志华
地址: 100176 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 开路 短路 os 测试 装置
【权利要求书】:

1.一种开路短路OS测试装置,包括:基座、工作台、第一传感器、第二传感器、线扫描成像单元和OS信息处理系统,其特征在于,

所述第一传感器镶嵌在所述工作台上,且所述第一传感器的信号发射端的发射端面与所述工作台的上表面在同一平面内;

所述第二传感器可滑动的安装在所述基座上方的横梁上,且可跟随所述横梁沿设置在所述基座两侧边缘的导轨移动;

所述线扫描成像单元可滑动的安装在所述基座上方的横梁上,且可跟随所述横梁沿设置在所述基座两侧边缘的导轨移动;

所述OS信息处理系统分别与所述第一传感器、所述第二传感器线和所述线扫描成像单元信号连接,控制所述第一传感器向被测基板的金属线发射测试信号,并控制所述第二传感器接收所述测试信号在被测基板的金属线上形成的扫描信息,并根据所述第二传感器接收的扫描信息,对所述基板上的金属线进行开路短路测试;以及控制线扫描成像单元进行线扫描和不良捕捉拍摄,并存储不良捕捉拍摄的图片。

2.如权利要求1所述的OS测试装置,其特征在于,所述第一传感器的信号发射端的发射端面为长方形平面。

3.如权利要求2所述的OS测试装置,其特征在于,所述长方形平面的长度小于工作台的宽度大于被测基板的宽度。

4.如权利要求3所述的OS测试装置,其特征在于,所述长方形平面的长边为1300mm,短边为40mm。

5.如权利要求1~4任一所述的OS测试装置,其特征在于,所述第二传感器包括线状结构的信号接收端。

6.如权利要求5所述的OS测试装置,其特征在于,所述线状结构的线长为5mm。

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