[实用新型]一种新型多晶硅还原炉高压启动装置

摘要

一种新型多晶硅还原炉高压启动装置，主要针对硅芯排布为含有4对一组的还原炉，用于西门子法多晶硅生产的硅芯启动击穿阶段。主要由两种不同电压等级的升压变压器、电抗器、接触器、熔断器、电流检测装置、PLC控制单元以及电动接地刀闸和接地电阻构成。所需要高压击穿的硅芯直接与升压变压器的输出相连无需切换或隔离开关，电流检测装置检测到的电流值送给PLC单元，PLC根据所检测的电流控制接触器和电动接地刀闸的动作。启动时，先对每对硅芯施加高电压等级的高压，待电流上升至变压器的最大输出电流后切换到低电压等级的变压器，此时每两对硅芯施加低电压等级的高压，使电流继续上升至稳定后切换至正常电源供电，高压启动完成。此后，该4对硅芯作为加热源，使用正常电源即可将其余硅芯全部击穿，从而进入正常生产阶段。

主权项

一种新型多晶硅还原炉高压启动装置，它包括顺序连接的电抗器，变压器，控制开关，其特征在于：两种不同电压等级的单相升压，采用同名端相联的方式直接连接到负载硅芯上，在硅芯负载首末端连接有接地电阻和接地刀闸；每对硅芯对应一台高电压等级的升压变压器，每两对硅芯对应一台低电压等级升压变压器，高电压等级升压变压器原边串联电抗器，低电压等级升压变压器为高短路阻抗变压器。