[实用新型]丝网印刷装置

摘要

一种丝网印刷装置，排除因基板定位部的升降驱动机构的机械误差引起的位置偏差误差，能够以较高的位置精度使基板相对于掩模板进行位置对准。基于通过第一拍摄部拍摄识别孔(9e、12e)而获取的位置对准数据来控制基板定位部，由此使夹紧构件(9a)上升而与掩模板(12)的下表面进行位置对准，在夹紧构件与夹具掩模(12A)的下表面抵接的状态下，基于通过第二拍摄部(17)经由识别孔(12e)拍摄识别孔(9e)的拍摄结果，获取表示在夹紧构件与夹具掩模的下表面抵接的状态下的、识别孔(12e)和识别孔(9e)的位置偏差量(δx、δy)的相对位置数据，作为表示因基板定位部的上升动作引起的定位误差的校准数据而存储。

主权项

一种丝网印刷装置，使基板抵接设置有图案孔的掩模板而印刷膏，其特征在于，具有：基板定位部，使从上游侧送入的基板在通过夹紧构件从水平方向夹紧的状态下，沿着水平方向以及上下方向相对地移动，由此定位到预定位置；丝网印刷部，使刮板在供给有膏的上述掩模板上滑动从而使膏经由上述图案孔印刷到基板；第一拍摄部，设置为能够进行上下两个方向的拍摄，通过拍摄部移动机构移动从而上述第一拍摄部进入上述夹紧构件的上表面与掩模板的下表面之间，进行拍摄上述夹紧构件上所形成的位置参照标记以及在上述掩模板中与上述位置参照标记对应的位置所形成的掩模开口部的第一拍摄动作；第二拍摄部，设置于上述掩模板的上表面侧，在使上述基板定位部进行上升动作从而上述夹紧构件与掩模板的下表面抵接的状态下，进行经由上述掩模开口部拍摄上述位置参照标记的第二拍摄动作；识别处理部，通过对上述第一拍摄动作的拍摄结果进行识别处理从而获取用于使上述基板定位部相对于上述掩模板在水平方向上进行位置对准的位置校正数据，并且通过对第二拍摄动作的拍摄结果进行识别处理获取位置偏差数据，该位置偏差数据表示在上述基板定位部上升从而上述夹紧构件与掩模板的下表面抵接的状态下的、上述掩模开口部和上述位置参照标记的水平方向的相对位置偏差；以及校准控制部，通过控制上述基板定位部、第一拍摄部、第二拍摄部以及识别处理部而求出上述位置偏差数据，执行用于校正由于上述基板定位部的上升动作而产生的水平方向的定位误差的校准处理。