[实用新型]一种大口径相移干涉仪有效
| 申请号： | 201220302741.1 | 申请日： | 2012-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN202692937U | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 毛卫平 | 申请（专利权）人： | 东莞市兰光光学科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 523750 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种大口径相移干涉仪，旨在解决现有技术用机械式移相的方式，从而检测精度较差和结构复杂的不足。它包括一激光器模块，该激光器模块的输出接口分别与扩束聚焦系统、准直系统、成像系统和标准镜依次连接，其中的激光器模块是一个波长可调谐激光器；另外还包括一图像采集系统和一计算机；其中的图像采集系统的输入接口与准直系统的输出接口相连接，其输出接口与计算机的输入接口相连接；计算机的输出接口与波长可调谐激光器的输入接口相连接。它是采用改变波长相移方式对光学零件的面形进行高精度检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 口径 相移 干涉仪 | ||
【主权项】：
一种大口径相移干涉仪，其特征是包括：一激光器模块，该激光器模块的输出接口分别与扩束聚焦系统、准直系统、成像系统和标准镜依次连接，其中的激光器模块是一个波长可调谐激光器；另外还包括一图像采集系统和一计算机；其中的图像采集系统的输入接口与准直系统的输出接口相连接，其输出接口与计算机的输入接口相连接；计算机的输出接口与波长可调谐激光器的输入接口相连接。
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