[实用新型]一种大口径相移干涉仪

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种光学检测仪器，尤其是一种相移干涉仪。

背景技术

专利号为93111560.4，公告号为CN1038781C的中国发明专利公开了一种“高精度大孔径移相式数字平面干涉仪”。它主要包括菲索型干涉仪、激光器、图像采集系统、移相器、驱动源和计算机、打印机等。菲索型干涉仪为立式结构，校正仪器系统误差的基准平面为液面；移相器位于菲索型干涉仪中参考平面镜的底部，由三个压电陶瓷晶体组成，它由驱动源驱动托住参考平面镜一起位移。在干涉仪中的参考平面镜的下方有一多功能工作台。该工作台包括自平衡支撑台、旋转盘、丝杆传动机构和水平调节机构。它提供了一种在一般的工作环境下能采用液面作为校正仪器系统误差的绝对基准，能自动校正移相器的非线性位移误差以及能使检测孔径扩展到直径500毫米的高精度大孔径移相式数字平面干涉仪。该干涉仪存在的问题是，由于它是采用了机械相移的方式，即用移相器中的压电陶瓷晶体推动参考平面镜位移实现相位位移，其准确性低，因此降低了测量的精度。并且其结构比较复杂，制造成本势必较高。

发明内容

本实用新型的目的是克服的上述现有技术的缺陷，而提供一种结构简单的非机械相移方式的大口径相移干涉仪，而采用改变波长相移方式进行光学零件的面形高精度检测。

为了实现上述的目的，可以采用以下的技术方案：本方案的大口径相移干涉仪包括：

一激光器模块，该激光器模块的输出接口分别与扩束聚焦系统、准直系统、成像系统和标准镜依次连接，其中的激光器模块是一个波长可调谐激光器；另外还包括一图像采集系统和一计算机；其中的图像采集系统的输入接口与准直系统的输出接口相连接，其输出接口与计算机的输入接口相连接；计算机的输出接口与波长可调谐激光器的输入接口相连接。

为了实现上述的目的，也可以采用以下的第二种技术方案：本方案的大口径相移干涉仪包括：

一激光器模块，该激光器模块的输出接口分别与扩束聚焦系统、准直系统、成像系统和标准镜依次连接，其中的激光器模块包括一可调谐激光器和一激光光源控制器；另外还包括一图像采集系统和一计算机；其中的图像采集系统的输入接口与准直系统的输出接口相连接，其输出接口与计算机的输入接口相连接；计算机的输出接口与激光光源控制器的输入接口相连接，激光光源控制器的输出接口与可调谐激光器的输入接口相连接。

检测光学零件的面形时，假设波长可调谐激光器的干涉腔长度为A，中心波长为λ。，采用m步移相，总相位变化量为β，则每步的相位变化量为π/m；则可以用下列公式算出每次相位变化所需要改变的波长增量Δλ：

Δλ＝β(λ。)²/4πA

然后将波长可调谐激光器以该波长增量Δλ变化m次，完成整个的相移过程；在每个相位变化时的干涉条纹被相移分析软件记录后，通过计算机用相移算法计算出波前的数据，从而完成光学零件的面形检测。

本实用新型的优点是：

摒除了结构复杂、精确度较低的机械相移方式，而采用改变可调谐激光器波长的方式，对其相位进行多次的系列移动，进一步通过相移分析软件记录，以及通过计算机用相移算法计算出波前的数据，从而实现对大口径的光学零件面形之高精度检测。

为了使本实用新型便于理解和更加清晰，下面通过附图和实施例对其作进一步说明。

附图说明

图1是本实用新型的大口径相移干涉仪实施例1的结构方框示意图。

图2是本实用新型的大口径相移干涉仪实施例2的结构方框示意图。

具体实施方式

实施例1，参看图1。本实施例的大口径相移干涉仪包括一激光器模块1，该激光器模块1的输出接口分别与扩束聚焦系统2、准直系统3、成像系统4和标准镜5依次连接，其中的激光器模块1是一个波长可调谐激光器；另外还包括一图像采集系统7和一计算机8；其中的图像采集系统7的输入接口与准直系统3的输出接口相连接，其输出接口与计算机8的输入接口相连接；计算机8的输出接口与波长可调谐激光器1的输入接口相连接。